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位移的测量方式所涉及的范围是相当广泛的。其中上、下硅片构成两个固定电极，中间的硅片通过化学刻蚀形成由柔性薄膜支撑的具有刚性中心质量块的形状，薄膜的厚度取决于该加速度传感器的量程。小位移通常用应变式、电感式、差动变压器式、涡流式、霍尔传感器来检测，大的位移常用感应同步器、光栅、容栅、磁栅等传感技术来测量。其中光栅传感器因具有易实现数字化、精度高（目前分辨率可达到纳米级）、抗干扰能力强、没有人为读数误差、安装方便、使用可靠等优点，在机床加工、检测仪表等行业中得到日益广泛的应用。

电容式传感器具有结构简单，灵敏度高，温度稳定性好，适应性强，动态性能好等一系列优点，目前在检测技术中不仅广泛应用于位移、振动、角度、加速度等机械量的测量，还可用于液位、压力、成份含量等热工方面的测量中。

电容传感器

电容传感器，英文名称为capacitive type transducer，是一种将其他量的变换以电容的变化体现出来的仪器。那么，容量不足，就会造成如下的情况：熔胶的运动会使合模电子尺的显示变换，有波动，或者合模的运动会使射胶电子尺的显示波动，造成测量结果误差很大。其主要由上下两电极、绝缘体、衬底构成，在压力作用下，薄膜产生一定的形变，上 下级间距离发生变化，导致电容变化，但电容并不随极间距离的变化而线性变化，其还需测量电路对输出电容进行一定的非线性补偿。

电容传感器的分类

电容传感器按传感器类型分：

触摸传感器：包括显示器件和输入器件

运动传感器：包括加速度计、陀螺仪和磁传感器

位置传感器：包括位移传感器和接近传感器

其他传感器：包括压力传感器、位移传感器、液位传感器

电容传感器按原理分：

电容式传感器一般由两个平行电极构成，在其两个电极之间以空气作为介质，在不考虑边缘效应的前提下，其电容可表示为C=εS/d，其中，ε表示两电极间 介质(即空气)的介电常数，S表示两电极之间相互覆盖的面积，d表示两电极间的距离，电容受这三个参数影响，任意一参数的改变就会使得电容得以改变。但是，为实现测量位移目的而设计的电位器，要求在位移变化和电阻变化之间有一个确定关系。

因 此，电容传感器分为介质变化型(ε的变化因此C的变化)、面积变化型(S的变化因此C的变化)和极距变化型(d的变化因此C的变化)三种。

隔膜的二次功能是作为两个电容器的一个板提供了一种测量位移的便捷方法。由于导体之间的电容与它们之间的距离成反比，因此低压侧的电容将增加，而高压侧的电容将减小：

连接到该单元的电容检测器电路使用高频AC激励信号来测量两半之间的电容的不同，将其转换成DC信号，该DC信号成为表示压力的仪器输出的信号。

这些压力传感器具有高的精度，稳定性和坚固性。这种设计使用两个隔离膜片通过内部“填充流体”将过程流体压力传递到单个传感膜片 - 实心框架限制了两个隔离膜片的运动，使得任何一个都不能用力传感膜片超过其弹性极限。

如图所示，高压隔离膜片被推向金属框架，通过填充流体将其运动传递到传感膜片。因此可以在高温、低温强磁场、强辐射下长期工作，尤其是解决高温高压环境下的检测难题。如果对该侧施加太大的压力，则隔离膜片将仅“压扁”在电容的实心框架上并停止移动。这有效地限制了隔离膜片的运动，因此即使施加额外的过程流体压力，它也不可能在传感膜片上施加更多的力。

应该注意的是，液体填充流体的使用是这种抗过压设计的关键。为了使传感膜片将所施加的压力地转换成比例电容，它必须不接触围绕它的导电金属框架。电容传感器能有效检测到微米级的位移变化，具有非常高的精度，应用前景广泛。但是，为了保护隔膜免受过压，它必须接触固体止回器以限制进一步的行程。因此，对非接触（电容）和接触（过压保护）的需求是相互排斥的，使得几乎不可能用单个传感膜片执行这两种功能。

电容位移传感器主要特点：能测量室内侧和室外侧的部分、车轮的位移、安全气囊的起动，在控制变速箱和液压系统工作的条件下完成起动、运动及停止等操作。其主要由上下两电极、绝缘体、衬底构成，在压力作用下，薄膜产生一定的形变，上下级间距离发生变化，导致电容变化，但电容并不随极间距离的变化而线性变化，其还需测量电路对输出电容进行一定的非线性补偿。适用范围：液压油管、制动油管、液压箱、液压片和立式、蹲式、动力罩、充油孔、流量计、分速阀及气缸（含冷却液）等和车轮和缸和坐位显示系统（兼备高测量安全装置）的使用。