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随着微机电技术的发展，如今的电容式加速度传感器都普遍采用的MEMS技术制造。下图显示了一种MEMS变电容式加速度传感器的结构，它的整个敏感元件由粘在一起的三个单晶硅片构成。其中上、下硅片构成两个固定电极，中间的硅片通过化学刻蚀形成由柔性薄膜支撑的具有刚性中心质量块的形状，薄膜的厚度取决于该加速度传感器的量程。另外，在薄膜上还有刻蚀出的小孔，当薄膜随质量块运动时，空气流经小孔从而产生所需的阻尼力。电容式传感器结构简单,易于制造,可做得非常小巧，以实现某些特殊的测量。由于采用MEMS技术得到了这种一体化的结构，它的可靠性是相当高的。

能够与众多行业领域进行推广渗透渗出

传感器的产生和运用早已渗透渗出到诸如产业开发、宇宙出产、海洋保护、生物工程、甚至物保护等等极其广泛的领域世界，可以豪不夸张的说不管是从茫茫的太空仍是到浩瀚的海洋，几乎每一个现代化需要使用产业器具的产业项目，都离不开各种各样的领域应用的位移激光传感器。动极板相对于定极板移动时，机械位移量转变为电容值的变化，通过电路转化得到电信号的相应变化量。

能够加紧建立人类与天然出产领域之间的联系

新技术革命以及科技时代的到来使世界进入信息时代的浪潮。在利用信息的过程中人类首先需要解决的题目就是如何获取正确可靠的信息，而位移激光传感器是获取天然和出产领域中信息，并将之与人类社会的主要矛盾调和进行联系的主要途径与手段。

电容式位移传感器是以电容器为敏感元件，将机械位移量转换为电容器电容量变化的一种传感器。其特点是结构简单、分辨率高、工作可靠、动态响应好，可实现非接触测量，能在恶劣环境条件下工作，主要用于位移、液位等方面的测量。电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器，具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外，还具有信噪比大，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。在国内研究所，高等院校、工厂得到广泛应用，成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。传感器输出信号为位移值，即使电源中断、重接，数据也不会丢失，更无须重新归零。主要类型为ZCS1100型、ZNXsensor型、FWS-CⅡ型、FW-C1型。