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被动式高的精度电容位移传感器：代表型号：48XX 系列，88XX系列，Mini系列

被动式电容传感器为一种非接触式精密位置传感器。基于追求的线性和稳定性而设计，其测量带宽高达20千赫-专用于伺服系统位置反馈和快速机床伺服应用理念。

主动式高的精度电容位移传感器：代表型号，58XX系列，68XX系列

-----突破纳米分辨率壁垒——实现亚纳米分辨率与快速响应-高达100千赫带宽!

6810型高分辨率电容式传感器提供了进的位置和位移性能测量。6810是专为“高动态”测量高速旋转或振荡的物体，如精密硬盘驱动主轴电机、精密空气轴承主轴和机械轴承

我们书归正传，接着介绍传感器知识，今天要介绍的是振动传感器。

要了解自动化，当然要先了解机器如何感知世界。如果连感知都没有，控制更无从说起。

为了使设备达到性能，有必要持续监控参数例如速度，温度，压力和振动。

监视设备的状态可以预防设备损坏，就像人要进行体检，要测血压，一样。这些指标是判断一个人是否健康的参数。如果这些指标有问题，得病的概率就大大增加。

同理设备也一样，但设备毕竟没有***那么复杂，在设备性能参数中，判断动态条件的参数就是振动。

所以要让设备变得智能，装配间隙测量，并且能自我诊断，肯定少不了振动传感器。

电容传感器的特点

电容变换器需要将所测的力学量转换成电压或电流后进行放大和处理。 在有些条件下，这些力学量变化相当缓慢，而且变化范围， 测量要有较高的分辨率，其他传感器很难做到高分辨率要求， 而有的电容测微仪分辨率为0.01 μm， 大量程为100±5 μm，因此一般采用电容式传感器进行检测比较适宜，

这类传感器具有以下 突出优点：

高阻抗、小功率，因而所需的输入力很小，输入能量也很低。

电容式传感器因带电极板间静电引力(约几个10-5N)，因此所需输入能量，所以特别适宜用来解决输入能量低的测量问题，例如测量极低的压力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很灵敏，分辨力非常髙，能感受0.001μm甚至更小的位移。

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