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非接触式位移传感器目前主要有电容式、电磁式、激光式、远红外、微波、超声波式。位移传感器目前被广泛应用于多个行业，因为应用环境的不同，所以需要应用不同功能特性的位移传感器。2016世界机器人大会上，由哈工大机器人集团研制的具备位移反馈传感器的纳米操作机器人引发了人们的关注。如测量米级的位移时就会用到短波长微波器件位移传感器，测量毫米级位移就会用到激光干涉法测量，而亚纳米级位移测量则会用到x射线衍***涉法测量器件位移传感器产品。

从20世纪50年代至70年代，栅式测量系统从感应同步器发展到光栅、磁栅、容栅和球栅，这5种测量系统都是将一个栅距周期内的测量和周期外的增量式测量结合起来，测量单位不是像激光一样的光波波长，而是通用的米制(或英制)标尺。

电容式传感器ZNX实际的基本包括了一个接收Tx与一个发射qiRx，其分别都具有在印刷电路板(PCB)层上成形的金属走线。在接收qi与发射走线之间会形成一个电场。电容传感器却可以探测与传感器电极特性不同的导体和尽缘体。但是，为实现测量位移目的而设计的电位器，要求在位移变化和电阻变化之间有一个确定关系。当有物体靠近时，电极的电场就会发生改变。从而感应出物体的位移变化量。

位移是和物体的位置在运动过程中的移动有关的量，位移的测量方式所涉及的范围是相当广泛的。普通直线电位器和圆形电位器都可分别用作直线位移和角位移传感器。其中光栅传感器因具有易实现数字化、精度高（目前分辨率高的可达到纳米级）、抗干扰能力强、没有人为读数误差、安装方便、使用可靠等优点，在机床加工、检测仪表等行业中得到日益广泛的应用。

纳米级位移传感器又称为线性传感器，它分为电感式位移传感器，电容式位移传感器，光电式位移传感器，位移传感器超声波式位移传感器，k和纳米位移计。

电感式位移传感器KD5100是一种属于金属感应的线性器件，接通电源后，在开关的感应面将产生一个交变磁场，当金属物体接近此感应面时，金属中则产生涡流而吸取了振荡器的能量，使振荡器输出幅度线性衰减，然后根据衰减量的变化来完成无接触检测物体的目的。只要选择恰当的波长，或者说频率，激光就可以使特定频率的等离子体激元沿着间隙来回振动或起振，如同拨动吉他弦产生的混响。