纳米级位移测量技术的行业须知

激光合成波长纳米位移测量技术解决大范围高精度的纳米位移测量和微运动技术问题。为解决大范围高精度的纳米位移测量和微运动技术问题，浙江理工大学陈本永***带领的研究团队提出了采用激光合成波长实现高精度大范围纳米位移测量的理论和方法，开发出相关的测试计量装置。普通直线电位器和圆形电位器都可分别用作直线位移和角位移传感器。该成果的主要创新为：①提出了利用双频激光合成波长干涉条纹虚细分实现超高精度位移测量的原理；②发明了基于该原理实现高精度(纳米级)大范围(毫米量程)位移测量的新方法；③研制出在同一干涉仪中直接实现大范围高精度纳米位移测量的新型测试计量装置。

在线在机测量技术成为大批量生产时保证加工质量的重要手段。计量型仪器进入生产现场、融入生产线，监控生产过程。仪器本身的可靠性、有效率、高精度以及质量统计功能、故障诊断功能进一步提高，满足了在线测量的要求。高精度数字化传感器的测量精度已实现从微米级向纳米级的提升；数字化测量仪器与机床集成进入生产现场，组成数字化加工系统：数控集成误差、工件毛坯安装误差及其环境误差的软件补偿技术得到进一步推广应用；非接触式扫描、视频测量技术和仪器备受重视；测量信息的无线传输和网络远程服务，进一步将被动型质量检测转换为主动型质量控制。伺服传动、驱动系统需消除一切非线性因数，特别是具有非线性特性的运动机构摩擦等效应。美国Brownamp;Sharp公司的Br***o-NT 测量机可在汽车生产线上对车身尺寸实施在线测量并充分满足汽车生产线对测量节拍、测量精度和测量可靠性的要求；德国Kapp公司磨齿机的机载齿轮测量装置将测量系统和机床集成一体，可在工件试磨后马上进行在机检测，测量信息处理后能反馈至机床，及时修正加工参数。特别有利于大型、重型齿轮和大批量齿轮的成形磨削加工。

光电所在纳米级高精度测量系统方法研究中取得新进展

公司在2015年成为科技型中小企业，并设立了院士工作站，目前主要开发和经营以下3类产品和服务：旋转机械状态监测和健康管理、光电视觉及环保检测、高精度几何量检测。相关技术打破国外垄断，技术水平达到国外同类产品的***水平。　

美国***标准与技术研究院（NIST）的科学家们开发了一种新的装置，可以测量超微粒子的运动，这些超微粒子的运动距离小得不可想象，比氢原子的直径还小，或者说比一个人的头发丝的百万分之一还小。同理，通常都采用较大的机械结构进行科学测量并用作实际的传感器。这种手持设备可以以***的精度探测微小零部件的原子级运动，而且，研究人员还找到了这种高灵敏度测量工具的量产方法。

　 测量大型物体的小运动是比较容易的，但是当移动部件的尺寸为纳米级时，难度就会加大。精准测量微观物体的微小位移的能力，可用于检测微量的***生物或化学***，完善微型机器人的运动，精准部署气囊，以及检测通过薄膜传播的极弱声波。