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接触电容式高温压力传感器的温度效应

随着微电子机械系统(MEMS)技术的发展，微小尺寸的半导体传感器得到快速发展。半导体传感器具有体积小、重量轻、精度高、成本低、温度特性好等优点，其制造工艺和半导体平面工艺兼容，满足传感器向智能化和集成化发展的需要。从航空航天、石油化工用的仪器到涡轮发动机、内燃机的监测和控制，越来越多的领域都要求工作温度在200℃以上的压力传感器。常见的高温压力传感器材料有多晶硅、石英、 SiC、SOI(Silicon on Insulator)、SOS(蓝宝石上硅)等。SOI的低压、低功耗、电隔离等优势，提高了传感器对恶劣环境的适应性，基于硅隔离SOI技术的耐高温压力传感器得到了广泛应用。相对于硅压阻式压力传感器，电容式压力传感器具有低噪声、高灵敏度、低温漂、动态变化范围大等显著优点。

接近传感器它可以代替诸如限位开关等接触检测方法的传感器，可以达到无接触检测对象的目的。它可以检测物体的运动信息和存在信息，并将它们转换成电信号。

接近传感器可以检测靠近传感器的金属物体而不与物体实际接触。根据操作原理，接近传感器大致可分为三种类型：电磁感应式高频振荡型、磁性型和电容式。

特点：

●非接触式检测避免了传感器本身和目标的损坏。

●无触点输出，光纤传感器报价，使用寿命长。

●即使在有水或油飞溅的恶劣环境中也能稳定检测。

●快速响应。

传感器头小，安装灵活。

物联网想要走得远，要看传感器的发展程度。不管是从机器间的信息协作、测量、分析到控制，都要靠传感器来搜集信息。

谁掌握了传感器，光纤传感器公司，谁就掌握了物联网的未来。

而同时，光纤传感器，中国想要在物联网甚至是工业物联网取得一席之地，传感器便是***适合中国的切入点。过去制造业与半导体产业的经验，将有效地协助中国在物联网的未来获得一席之地。

如果没有传感器来检测压力、位置、温度等重要的生产数据，光纤传感器应用，工业物联网（Industrial Internet of Things，IIoT）也不会有今天的发展。基本上，工业物联网以及消费者物联网（C***umer Internet of Things，IoT）的成长，都伴随传感器市场的扩张，而传感科技的创新与研发也会刺激 物联网产业的潜力与发展力度。

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